강의계획서
| 교과목코드 | SE242002 | 교과목명 | 반도체장비공학 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체공학과 | 교수 | 심재삼 |
| 교수소속 | 반도체공학부 | 이수학년 | |
| 과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
| 이메일 | simjs@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 교과목 소개 및 overview |
| 2주차 | 반도체 공정 개론(1) |
| 3주차 | 반도체 공정 개론(2) |
| 4주차 | 플라즈마 기반 식각기술 |
| 5주차 | 플라즈마 진공챔버 시스템(1) |
| 6주차 | 플라즈마 진공챔버 시스템(2) |
| 7주차 | 증착 설비 |
| 8주차 | 중간 시험 |
| 9주차 | 확산 및 이온 주입 장비 |
| 10주차 | 세정 장비 |
| 11주차 | 검사 장비 |
| 12주차 | 반도체장비 제어기술 |
| 13주차 | 반도체장비 SW |
| 14주차 | 과제 발표 |
| 15주차 | 기말 시험 |
| 16주차 |